氬氣純化裝置
技術(shù)參數(shù):1、處理氣量:5 m3/h~300 m3/h
2、工作壓力:小于等于0.8MPa
3、氬氣來源:液氬.
4、電 源: 380V 50HZ
5、凈化效能:
氣體
純度(%)
H2(ppm)
O2(ppm)
CO(ppm)
CO2(ppm)
CH4(ppm)
點(diǎn)(H2O)
原氬
99.9