產(chǎn)品描述:
DRF50單晶硅生長(zhǎng)爐
用途:
主要用于二極管單晶硅棒、硅芯原料棒拉制,多晶硅原料的檢測(cè)。
主要技術(shù)參數(shù)
DRF-50
拉制晶體直徑: Ф3″(Ф80mm)
熔料量 10Kg (10″坩堝)
主爐室內(nèi)徑 850mm
加熱方式 石墨電阻加熱
籽晶拉速 0.2-8mm/min
籽晶轉(zhuǎn)速 0-30rpm
坩堝升速 0.02-1mm/min
冷爐極限真空度