KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面最可升溫到高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

該腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

溫控器

加熱溫度

高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃

注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。

溫控誤差

±1℃

熱電偶類型

PT100高精度傳感器

溫控表

宇電PID溫控器

程序控溫

1段（可選30段程序控溫表）

加熱功率

≤300W

加熱電源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探針熱臺

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

加工方式

一體式CNC精加工

內(nèi)腔體尺寸

137X57X21mm 容積165ML

加熱臺尺寸

Φ35mm

觀察窗內(nèi)徑

Φ45mm

觀察窗材質(zhì)

高透光石英玻璃

信號輸出頭

SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

抽氣口

KF16

進(jìn)氣口

6MM卡套

使用正壓

≤O.05MPa

使用負(fù)壓

機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴(kuò)展配件

氣體液體注射口

4芯電信號接頭

8芯電信號接頭

SMA905 光纖接口

擴(kuò)展5KV高壓電極

升級30段控溫儀表

移動探針

探針規(guī)格

探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm

上下移動距離

2.5mm

前后移動距離

±10mm

左右旋轉(zhuǎn)距離

120°

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聯(lián)系人：李工

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