ZLKST-21型方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。

◆ 特點(diǎn)：

1

采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗；

2

以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；

3

采用單個(gè)電池供電，帶電池欠壓指示；

4

體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；

5

特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜

6

探頭帶抗靜電模塊

◆ 技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量范圍

按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
1.方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□；
小分辨率：0.01Ω/□

恒流源

測(cè)量過程誤差：≤±0.8%

模數(shù)轉(zhuǎn)換器

量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；

測(cè)量不確定度

在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5%

四探針探頭規(guī)格

間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源

9V疊層電池1節(jié)

◆ ZLKST-21方塊電阻測(cè)試儀可選配HP系列四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格：

型號(hào)

(Model)

曲率半徑

(Radius)

壓力

(loads)

探針間距

(spacing)

探針排列

(Arrangement)

ZLKHP-501

0.5mm

100g

3.8mm

直線

ZLKHP-502

0.75mm

100g

3.8mm

直線

ZLKHP-503

0.1mm

150g

1mm

直線

ZLKHP-504

0.5mm

100g

1.59mm

直線

◆ ZLKST-21方塊電阻測(cè)試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格：

型號(hào)

(Model)

曲率半徑

(Radius)

壓力

(loads)

探針間距

(spacing)

探針排列

(Arrangement)

ZLKSP-601

0.5mm

100g

1.59mm

方形